よくあるご質問

代表的な金属濃度は PBNってなに？ をご参照ください。保証値ではありません。

ご使用環境によって異なるため、一概にはお答えできません。また、製品の寿命保証は行っておりません。

最大Φ400、高さ560mm程度まで対応可能です。具体的な形状、図面がありましたら、お問い合わせフォームよりご相談ください。

円板Φ600、厚さ5mm程度まで対応可能です。具体的な形状・図面がありましたら、お問い合わせフォームよりご相談ください。

製品の形状によって変わります。具体的な形状、図面がありましたら、お問い合わせフォームよりご相談ください。

およそ20～400μｍの範囲です。隙間には膜が付きにくいため、開口の長さと深さは1：1を推奨いたします。角部はRをつけさせていただきます。
熱膨張率を考慮して、信越化学指定のグラファイト基材を使用いたします(メーカー非開示)。グラファイト基材は通常グレード、または高純度グレードをご指定ください。

グラファイト以外の材質は対応できません。

製造装置の汚染の恐れがあるため、基本的には不可です。

ヒーターの形状と各部寸法、数量、電源容量(最大電圧、最大電流)、使用温度、ガス種、圧力、用途(開示可能な範囲で)などをお知らせ願います。

ヒーターパターンの設計は、基本的に弊社が行います。ご使用予定の電源の仕様とご希望温度から、ヒーター抵抗値やヒーターパターン幅、発熱層の厚さ、ヒーターパターンの配置を決めていきます。逆に、まずヒーターパターンを設計し、ヒーターの抵抗値とご使用温度に適した電源をお客様に選定いただく場合もあります。

PG/PBNヒーターの寿命は、ご使用環境に左右されるため、一概には言えません。また、寿命保証は行っておりません。

PG/PBNヒーターを装置に取り付ける際の注意事項、推奨の電源接続方法を記載した取扱説明書をご提供いたします。お申し付けください。

電源に制約は設けておりません。交流でも直流でも、必要な電力を供給できればご希望の温度に昇温可能です。制御方法にも特に制約は設けておりません。

弊社の加熱試験設備にて行ったPG/PBNヒーター加熱試験結果に基づき、電圧、電流、電力を推定することは可能です。ただし、PG/PBNヒーターをある温度に昇温するための電圧、電流、電力はご使用環境(装置構造、PG/PBNヒーター周囲の断熱状況)によって変化します。お客様の装置内で同じ値になるとは限りません。よって保証値ではなく、参考値となります。

O2、H2、NH3等(熱分解によりH2の発生源となるガス)、F系ガスの存在下でPG/PBNヒーターをご使用になる場合は、注意が必要です。推奨使用温度は、大気中またはO2の存在下では400℃以下、H2やNH3等(熱分解によりH2の発生源となるガス)の存在下では800℃以下です。推奨使用温度以上でご使用になる場合、主に端子部で不具合が発生すると予想されますが、ガス量(圧力)にも影響されるため、寿命予測は困難です。PBNは100℃でF2ガスに侵食されます。F系のガスは使用しないでください。注意すべきガス種を記載した技術資料のご提供も可能です。お申し付けください。

ヒーターアセンブリの提供は行っておりません。弊社が提供するのはPG/PBNヒーター本体と付属品のカーボンワッシャーのみとなります。

PG/PBNヒーターに、熱電対を取り付けるための貫通穴、非貫通穴、溝などを設けることができます。また、熱電対の取り付け方法の例を記載した技術資料のご提供も可能です。お申し付けください。

250℃、波長領域2～100μmにおける全放射率は0.76です。発光エネルギー分布を記載した技術資料のご提供も可能です。お申し付けください。

PG(熱分解グラファイト)とPBN(熱分解窒化ホウ素)の優れた材料特性と、CVD法による緻密な積層構造により実現しています。PGは2000℃以上の耐熱性を持ち、PBNは優れた絶縁性と化学的安定性を提供します。この組み合わせにより、従来のセラミックヒーターでは不可能だった高温を実現しました。

薄型設計(0.7〜2mm)と、PGの優れた熱伝導性、PBNとPGの優れた耐熱衝撃性、低い熱容量により実現しています。また、緻密な積層構造により熱効率が非常に高く、投入電力が効率的に熱に変換されます。これにより810℃/秒という驚異的な昇温速度を達成しました。

はい、実証済みです。PBNとPGの熱膨張係数が近く、積層界面での熱応力が最小限に抑えられています。また、CVD法により粒界のない緻密な構造を実現しているため、熱衝撃による亀裂や剥離が発生しにくく、長期間安定した性能を維持します。

はい、お客様のプロセス要求に合わせて、形状、サイズ、ゾーン分割、電極配置などをカスタマイズ可能です。円盤型、円筒型、特殊形状にも対応します。また、特殊PGを使用することで、電気特性の調整も可能です。

基本的には＜0.1mmとなります。さらに低い平坦度が必要な場合は、ご相談ください。

複数ゾーンは対応できます。製品の形状にもよるため、ご相談ください。

300V以下、20A以下でお客様の仕様に合わせて設計します。

基本的には±0.5kV at 500℃となります。さらに高い絶縁性能が必要な場合はご相談ください。

実績のある最高使用温度は800℃です。

フッ素プラズマ雰囲気では使用できません。その他の使用環境についてはご相談ください。

お客様の使用環境にもよるため、具体的な保証期間はありません。

12mm～25mmで作成可能です。

Φ12inchまで対応可能です。

PBNは高純度で、優れた熱伝導性、電気絶縁性、化学的安定性を持ちます。特に高温環境下での安定性に優れ、800℃までの幅広い温度域で使用可能です。

はい、可能です。ウエハサイズ、電極パターン、ヒーター設計など、お客様のプロセス要求に合わせて最適化した製品を提供します。