熱分解性窒化ホウ素(PBN)
熱分解性窒化ホウ素(PBN)

PBNってなに?

三塩化ホウ素(BCl3)とアンモニア(NH3)を原料にして、気相成長(CVD)法によって製造される、
高純度の熱分解性窒化ホウ素(Pyrolytic Boron Nitride:PBN)。
優れた性能を発揮するセラミックスとして、いまも用途が広がっています。

Properties of PBN

優れた耐熱性や絶縁性を
兼ね備えた
高機能セラミックスです。

PBN(Pyrolytic Boron Nitride)は、約2000℃の高温状態で気相成⻑(CVD)させて製造した高純度の窒化ホウ素です。
一般的な焼成BNに比べ化学的安定性が⾼く、耐熱性、耐熱衝撃性、熱伝導性、耐⾷(酸)性、電気絶縁性に優れた特徴を有しています。

PBNの異方性

PBNは、グラファイトと酷似した六方晶系の結晶構造を持っています。
図に示すように、a方向(面方向)では高い熱伝導率、c方向(厚さ方向)では優れた断熱性を誇るなど、異なる物性を備えているのが特徴です。

PDN

熱伝導率

熱伝導率 イメージ

抵抗率

抵抗率 イメージ

PBN中の金属不純物

元素 含有量(ppm)
Na <0.3
AI <1.0
Ca <0.3
Mn <0.2
Fe <0.3
Co <0.3
Ni <0.3
Cu <0.1
Zn <0.5
Mg <0.3
※保証値ではありません。
分析方法:
  • グロー放電マススペクトル
  • 黒鉛炉加熱原子吸光分析
  • ICP発光分光分析

信越化学のPBNの物性

弊社のPBNは低密度品(Low Density)が標準品。
高密度品(High Density)も製造可能です。

Properties Low Density High Density
密度(g/cc) 1.99 2.15
曲げ強度(MPa) 150 230
弾性率(GPa) 16 16
圧縮強度(MPa) 330 330
硬度(HV10) 110 110
最高使用温度(Inert)(℃) 2400 2400
熱伝導率 a方向(W/m・K) 50-60 110
     c方向(W/m・K) 1.8
熱膨張係数 a方向(1/℃) 3.5 ✕ 10 -6 2.8 ✕ 10 -6
      c方向(1/℃) 32 ✕ 10 -6 32 ✕ 10 -6
比熱(J/kg・K) 800 787
絶縁破壊強さ a方向(ac-kV/mm) >400 >400
誘電率  @8.8 GHz 4.2 4.9
誘電正接 @8.8 GHz <1.0 ✕ 10 -4 <1.0 ✕ 10 -4
体積抵抗率(Ω・cm) >10 14 >10 14
ポアソン比 a方向(室温) 0.25
引張強度 a方向(MPa) 41

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