熱分解性窒化ホウ素(PBN)
信越化学の独自の方法で製造されたPBN製ヒーター付き静電チャック(Pyrolytic Boron Nitride
Electrostatic Chuck:PBN-ESC)です。
CVD法により製造される高純度のPBNと、独自のC-doped PBN技術により、室温から800℃までの幅広い温度域で安定した性能を発揮します。従来の静電チャックでは実現できなかった高温プロセスにも対応し、異なるご使用温度域でのESC交換は必要ありません。
ジョンセン・ラーベック方式とクーロン方式の両方に対応可能で、お客様のプロセス要求に最適な吸着方式を選択できます。
●幅広い温度域対応(室温～800℃)
独自のC-doped PBN技術により、室温から800℃までの幅広い温度域で安定したチャッキングが可能。異なる温度域でも使用でき、プロセスの柔軟性が大幅に向上します。
●大型サイズ対応
PBNと相性の良いグラファイト材の選定から一貫製造。独自のコーティング技術により、最大Φ330mmまで作成可能。12inchの大型ウエハにも対応できます。
●ウエハの高速昇温
チャック電圧印加後、約10秒で目標温度に到達します。優れた熱伝導特性により、プロセス時間の大幅な短縮が可能。生産性向上に貢献します。
●優れた温度均一性
高精度な発熱パターン形成技術と温度分布シミュレーションにより、ウエハ表面温度を±2%程度に制御。プロセスの再現性と歩留まり向上を実現します。
●高純度
各金属不純物は１ppm未満になります。
※Siは＜5ppm
●長期信頼性
PBNの優れた化学的安定性と機械的強度により、過酷なプロセス環境下でも長期間安定した性能を維持。弊社オリジナルの特殊PGを成膜することで、オーバーコート層の密着性を高め剥離を防止。また、フラットな温度-抵抗率特性を実現します。
●選べる吸着タイプ
ジョンセン・ラーベック方式とクーロン方式を選択可能です。
| 対応ウエハサイズ | 200mm、300mm、カスタムサイズ(最大Φ330mm) |
| 使用温度範囲 | 室温 〜 800℃ |
| 吸着方式 | ジョンセン・ラーベック方式/クーロン方式(選択可能) |
| 電極構成 | 双極型(Bipolar) / 単極型(Monopolar) |
| 材料純度 | 各金属不純物＜１ppm(Siは＜5ppm) |
| 温度均一性 | ±2-4%(形状に依存) |
| 吸着力 | 10〜100 g/cm²(温度・方式により可変) |
| 表面粗さ | Ra =0.05μm～0.2μm※ |
| 平面度 | 0.05mm以下※ |
●カスタム設計
お客様の要望に合わせて、最適な形状・仕様で設計・製造が可能です。社内のシミュレーション技術により、均熱性の高い製品を提供します。
●特性評価サービス
サーモグラフィーやTCウエハ等の最新検査設備を保有。弊社評価チャンバー内での詳細な温度分布データを提供し、プロセス最適化をサポートします。
●リペア(再生)サービス
長年の経験とノウハウにより、プロセスで付着した堆積物やダメージを除去し、新品同様の状態に再生します。
※どこまで再生できるかは、ダメージの程度によって異なります。
よくあるご質問
基本的には＜0.1mmとなります。さらに低い平坦度が必要な場合は、ご相談ください。
複数ゾーンは対応できます。製品の形状にもよるため、ご相談ください。
300V以下、20A以下でお客様の仕様に合わせて設計します。
基本的には±0.5kV at 500℃となります。さらに高い絶縁性能が必要な場合はご相談ください。
実績のある最高使用温度は800℃です。
フッ素プラズマ雰囲気では使用できません。その他の使用環境についてはご相談ください。
お客様の使用環境にもよるため、具体的な保証期間はありません。
12mm～25mmで作成可能です。
Φ12inchまで対応可能です。
PBNは高純度で、優れた熱伝導性、電気絶縁性、化学的安定性を持ちます。特に高温環境下での安定性に優れ、800℃までの幅広い温度域で使用可能です。
はい、可能です。ウエハサイズ、電極パターン、ヒーター設計など、お客様のプロセス要求に合わせて最適化した製品を提供します。
よくあるご質問一覧
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