PBNコートグラファイト材料

PBNはグラファイトの表面にコーティングすることが可能です。PBNコートを施したグラファイトはヒーターやサセプター、リフレクターなどさまざまな用途として利用できるほか、MOCVD装置のようにNH3雰囲気下で高温工程がある場合は、PBNをコーティングすることでグラファイトの腐食防止にも効果が期待できます。
信越化学ではPBNに最適なグラファイト基材の選定・手配から一貫製造。大型製品にも対応しています。
※受託コートは行っておりません

PBNコートグラファイトヒーター

PBNと相性の良いグラファイト基材を選定することで、PBN膜の剥離が起こりにくく、長寿命化が期待できます。また、Φ700mmの大型品の製造も可能です。

実証データ

NH3耐性試験結果

〈試験条件〉

〈試験結果〉

1400℃まで重量変化なく良好な耐性を維持しています。

一般的なPBNコーティング / 信越独自コーティング

輻射吸収性を高めるために、表面に信越独自コーティング＜分子線エピタキシー(MBE)装置用るつぼ参照＞を施し黒色化も可能です。

PBNコートグラファイト部材

ヒーターのほか、サセプターやリフレクターなどの部材としても使用可能です。
PBN膜は厚くすることが難しいため、厚さ5mm以上のPBN部材が必要な場合はPBNコートグラファイト部材でのご案内となります。

FAQ

よくあるご質問

Q.

PBNコートの厚さは？

およそ20～400μｍの範囲です。隙間には膜が付きにくいため、開口の長さと深さは1：1を推奨いたします。角部はRをつけさせていただきます。
熱膨張率を考慮して、信越化学指定のグラファイト基材を使用いたします(メーカー非開示)。グラファイト基材は通常グレード、または高純度グレードをご指定ください。
Q.

PBNコートはグラファイト以外でも対応できる？

グラファイト以外の材質は対応できません。
Q.

PBNコートの委託は可能？

製造装置の汚染の恐れがあるため、基本的には不可です。