熱分解性窒化ホウ素(PBN)
PBNは、自由な形状に加工・成型が可能なマシナブルセラミックスです。高耐熱性・高絶縁性・高耐食性といった特性を活かし、さまざまな装置の治具として活躍します。
信越化学のPBN加工品は、高い加工精度が特長です。特殊な用途に対応できる製品や独自の薄いフィルム状の製品も手がけています。
焼成体の窒化ホウ素よりも高純度で、アウトガスが発生しません。Si源を含まないため、Siのコンタミネーションを嫌う場合に最適です。
弊社のPBN加工品は、デラミネーションが起こりにくいと好評をいただいています。
熱分解グラファイト(PG)コーティングおよび信越独自コーティングにも対応しています。
＜分子線エピタキシー(MBE)装置用るつぼ 参照＞
Φ600mm、T5 mm
※大型サイズは要相談
セラミックスながら、フレキシブルで軽量なシートです。導通を避けたい箇所に挟み込むだけで、簡単に絶縁できます。高温・超高温真空下においても優れた絶縁性能を発揮します。
信越化学では、独自に開発した薄いフィルム状の製品(厚さ100μm未満)も提供しています。ハサミで自由にカットできるため、用途に合わせた形状に加工してお使いいただけます。
T200μm
・W250×L1000 mm
・W40×L5000 mm
※大型サイズは要相談
※その他形状はお問い合わせください
PBNは高純度であることから、各種BN材料の原料としてもご使用いただけます。
よくあるご質問
円板Φ600、厚さ5mm程度まで対応可能です。具体的な形状・図面がありましたら、お問い合わせフォームよりご相談ください。
製品の形状によって変わります。具体的な形状、図面がありましたら、お問い合わせフォームよりご相談ください。
よくあるご質問一覧
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